Lam TCP 9600SE

Description de l'offre

Lam Model TCP 9600SE

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Modèle LAM TCP 9600SE AVEC DÉTECTION DE POINT D'ACCÈS DE LAM
FABRICANT: RECHERCHE SUR LAM
MODÈLE TCP 9600SE

La description:

Le modèle Lam TCP 9600SE est destiné à graver des couches d'aluminium métallique et de TiW avec des parois latérales très verticales adaptées à une largeur de ligne de 0,35 um. Le plasma est un plasma couplé par transformateur de densité moyenne à haute, semblable aux sources ICP, permettant un contrôle séparé de la puissance de la bobine (électrode supérieure} et de la platine (électrode inférieure). Dans la chambre, les plaquettes sont fixées mécaniquement à une platine refroidie par eau et He gaz arrière
assure le couplage. La chimie C12 / BC13 est utilisée pour Al et SF6 pour les couches TiW. L'étape de gravure TiW et de passivation Cl (également en utilisant SF6} peut être effectuée dans la serrure de sortie ou dans la chambre principale. La chimie Cl devrait être efficace sur les couches AI203 ainsi que sur les tranchées de silicium avec un minimum de contre-dépouille.

Caractéristiques et accessoires clés:

Gaz de processus: CI2, BCI3, HBr, SF6, CF4, Ar, N2, 02, He. Pression de process 0-100 mTorr, puissance de l'électrode supérieure 0 - 125OW, puissance de l'électrode inférieure 0 - 1200W. Température de process 55 ° C. Le monochromateur réglable est utilisé pour la détection des points finaux. Il est équipé d'un module de bande de quartz source découplé (DSQ) pour retirer (retirer) la résine photosensible des plaquettes. Le processus DSQ réduit considérablement la probabilité de contamination des particules et augmente l'efficacité du processus de bande.

Spécifications clés:

Recette standard 600/601 pour la gravure AI:
Vitesse de gravure: 800 nm / min,
Taux de gravure de la résine photosensible: 400 nm / min,
Recette standard 640 pour la gravure AI203:
Taux de gravure: 100-120 nm / min
Taille du substrat:
150 mm de diamètre
Matériaux autorisés:
AI, AI203, Ti02, poly Si, Nb et une variété de nitrures peuvent être gravés en utilisant la chimie CI
Matériaux interdits:
Matériaux non compatibles IC

Comprend: (1) Lam modèle TCP 9600SE

À vendre: Lam Model 9600SE. Vendre "tel quel, où est". Nous n'avons pas la possibilité de tester tous les équipements. Ce système a été désinstallé en état de fonctionnement et opérationnel.

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