MATÉRIAUX APPLIQUÉS (AMAT) SYSTÈME DE MÉTROLOGIE CD AUTOMATISÉ VERASEM 3D

Description de l'offre

MATÉRIAUX APPLIQUÉS (AMAT) SYSTÈME DE MÉTROLOGIE CD AUTOMATISÉ VERASEM 3D
État: Utilisé
Marque: Matériaux appliqués
Modèle: Varasem 3D Automated CD Metrology System
Comprend: (1) Matériel utilisé (AMAT) Varasem 3D automatisé système de métrologie CD
Spécifications de plaquette

Taille de la plaquette: 200 mm

Forme de plaquette: SNNF (Semi Notch No Flat)

Gaufrette: 6 ", 8" ou 12 "

Système optique électronique

Electron Gun Schottky source d'émission (fei)

Tension d'accélération 300V à 2000V

Courant de sonde faible 5pA / moyen 10pA / élevé 20pA

Lentille électromagnétique Lentille électromagnétique à 3 étages

Système avec module de déflexion du faisceau de tension de suralimentation

Objectif

Scan Coil 2-Stage Electromagnetic Deflection (Axes X et Y)

Grossissement 1000x à 400000x (100um à 0,25um FOV)

Capacité d'imagerie de plaquette Toute la surface de la plaquette de 8 ”

Rapport d'inspection> 14: 1

Fonction d'inclinaison 5 degrés (4 directions)

Résolution 3 nm (500 V)

Interface de communication SECS / GEM

Fonction d'archivage automatique d'images Toujours / Configuration en ligne / Jamais

Fonction de mesure Moyenne / Maximum / Minimum / Trou de contact /

Analyse de bord de ligne / Analyse CH / Pente

Algorithme de mesure Normal / Pied / Seuil

À vendre: MATÉRIAUX APPLIQUÉS (AMAT) SYSTÈME DE MÉTROLOGIE CD AUTOMATISÉ VERASEM 3D (Occasion). Vendre "tel quel, où est". Nous n'avons pas la possibilité de tester tous les équipements. Ce système a été désinstallé en état de fonctionnement et opérationnel.

This equipment is located in US