Novellus Concept-1 200

Description de l'offre

Novellus Concept-1 200 PECVD

- Système de base Concept One 200 mm
- Paquet de micro-contamination.
- Système bi-fréquence avec générateur AE LF PDX 1400 - Marquage CE.
- Boîte à gaz de 200 mm de nouvelle génération, 11 Chanel, Mfc numériques Aera FCPA avec LOTO.
- Bloc de chauffage à fente standard de 200 mm.
- Assy, Foot Switch Controller - l'interrupteur est activé au pied pour la fermeture de la porte du sas.
- Interconnexion essence VCR.
- Valve pendulaire chauffée externe améliorée
- Ordinateur 586 amélioré avec lecteur flash.
- Unité de contrôle de pression / température numérique améliorée.
- Robot amélioré avec moteurs 70V et OEM 750.
- Écran tactile à écran plat avant amélioré.
- Traversées en céramique AC et RF améliorées.
- Broche ferrofluidique améliorée.
- Réseau de correspondance AE amélioré.
- Système de point d'extrémité de détecteur RF amélioré.
- Boîtier RF amélioré.
- Station de refroidissement pour la compatibilité des cassettes en plastique.
- Alimentation Megapak.
- Fenêtre en saphir.
- Axe de porte monobloc à verrou.
- Façade avant standard - Peinture aqueuse.
- Interface de communication SECS II.
- Générateur AE RFG5500 HF - Marquage CE, standard de verrouillage.
- Interface de pompe à distance AC pour pompes ACP et avec générateur AE LF.
- Câble de commande du système principal CA 99 - TBD
- Câbles de commande de générateur RF pour générateurs AE - TBD
- Câble HF RF pour générateur 3 KW CA 57 - TBD
- Câble RF LF CA 102 -TBD
- Câble de commande de pompe à utiliser avec des interfaces de type ACP - TBD

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