description
spin coater avec système GYRSET pour une meilleure uniformité et une plus faible consommation de résine
Changement rapide du système Gyrset
bras de dépose motorisé et programmable
max 200mm wafer ou 6 "x6" substrat carré
armoire de base en acier inoxydable
Accélération maximale de 5000 rpm/sec
bras de dépose motorisé
capacité de dépose multiple pour jusqu'à 2 photorésistances
Alimentation Cybor 512 avec contrôleur 505 (contrôle 1 à 2 pompes)
1 pompe Cybor 5126C
buse de résine auto-nettoyante
distribution de cartouches
Plusieurs mandrins et Gyrsets disponibles pour des substrats de différentes tailles.
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