Tracciatore automatico Karl Suss RA120M

Descrizione dell'annuncio

L'RA 120M consente l'incisione di wafer fino a 4 pollici (102 mm) di diametro e substrati grandi fino a 4 pollici (102 mm) quadrati.

Due assi di tracciatura indipendenti sono programmabili separatamente per la massima versatilità.

I parametri possono essere immessi in micron o mil. (La modalità pollici o metrica viene selezionata prima dell'accensione posizionando un ponticello di modalità interno.)

Gli incrementi di immissione dei dati sono 1 micron nella modalità metrica e 0,1 mil in pollici.

L'RA 120M offre tre modalità di tracciatura distinte e due assi di tracciatura separati in modo da poter ottimizzare la configurazione specifica più adatta alle proprie esigenze. La scelta dipende dal composto da incidere e dal particolare tipo di dispositivo fabbricato sul wafer o sul substrato.

Se viene selezionato il programma di tracciatura continua, la tracciatrice produrrà una tracciatura ininterrotta lungo l'intera lunghezza del materiale, alla profondità programmata durante l'impostazione. La modalità di tracciatura del bordo consente all'RA 120M di tracciare una piccola distanza dal bordo del materiale.

La lunghezza del tracciato è selezionabile dall'operatore con incrementi di 1 micron tra 20 e 10.000 micron e l'inizio del tracciato è sempre relativo al bordo del materiale. Una volta terminato uno scriba bordo, la tabella viene indicizzata automaticamente e lo scriba successivo inizia immediatamente. Pertanto questa modalità di tracciatura è molto veloce, poiché la tavola si sposta solo di una piccola distanza nella direzione della tracciatura.

Salta scrittura è molto utile per le situazioni in cui un'intersezione di scribi interferirebbe con il corretto funzionamento del dispositivo. Nella modalità Salta traccia, lo strumento viene posizionato nella posizione di traccia mentre la tavola si sposta di una distanza di lunghezza di traccia specifica; lo strumento viene quindi sollevato e il tavolo si sposta di una determinata distanza prima che inizi lo scriba successivo. I parametri sono selezionabili dall'utente ed è possibile programmare skip scribes tra 20 e 10.000 micron.

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