ASM Eagle XP5 PEALD

Descrizione dell'annuncio

Dimensioni cialda 300 mm
Sistema PE-ALD di processo
Versione software Software Eagle I ASMJ (Windows XP/sistema operativo integrato)
Consulta il file di configurazione qui sotto da scaricare insieme ad altri documenti.
Set completo di schemi disponibili su richiesta.
Processo PE-ALD Ossido, HT-SiO/HT-SiN
Configurazione hardware (fab):
Sistema principale Sistema ASM PE-ALD Mainframe 1
Sistema Handler FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Interfaccia di fabbrica FOUP 2
Sistema di opzioni
Altri Camera di processo (RC3 / RC4) 2
Configurazione hardware (sottofabbrica/unità ausiliarie):
Rack di potenza 1
Stato dello strumento: disinstallato, imballato e in deposito. (marzo 2023)

L'ASM Eagle è come nuova. Non è mai stato utilizzato in produzione e utilizzato solo per testare i wafer. Una camera presentava un problema con la valvola a farfalla e un problema con la generazione RF. L'RF Gen è stato sostituito ma non è stata sostituita la valvola a farfalla, quindi è stata utilizzata solo una camera per testare i wafer. Il pannello del gas liquido non è stato utilizzato. Sono inclusi 2 MFC di riserva.

Questa macchina avanzata utilizza la tecnologia PEALD (deposizione di strati atomici potenziata dal plasma) per creare rivestimenti ultrasottili e uniformi su una varietà di materiali di substrato. È in grado di produrre rivestimenti con eccezionale uniformità e riproducibilità, rendendolo ideale per un'ampia gamma di applicazioni nell'industria dei semiconduttori.
ASM Eagle XP5 è uno strumento versatile che può essere utilizzato per depositare un'ampia gamma di materiali, inclusi metalli, ossidi e altri composti. È inoltre in grado di funzionare a una vasta gamma di pressioni e temperature di processo, rendendolo adatto all'uso in una varietà di ambienti di produzione.
Oltre alle sue impressionanti capacità di rivestimento, l'ASM Eagle XP5 è anche costruito pensando alla durabilità e alla facilità di manutenzione. Ha un design robusto ed è supportato dalla reputazione di ASM nella produzione di apparecchiature affidabili e di alta qualità.

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