Usado SI EcoClean

Descripción del anuncio

Capacidad de obleas de 2"-8"

-Velocidad de pelado controlada – 100-100 000 Å/min (0,01 – 10 um/min)

-Alto rendimiento: proceso de hasta 65 wph

-Pequeño espacio con una sola cámara

-Sin defectos ni daños debido a ICP Downstream Plasma

-I+D para la producción de alto volumen con un tiempo de inactividad mínimo

Eliminación de fotoprotector

Descomposición de relaciones públicas

Eliminación de poliimida

Eliminación de orgánicos

Eliminación de óxido de cobre

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