ASM Eagle XP5 PEALD

Descripción del anuncio

Tamaño de oblea 300 mm
Proceso Sistema PE-ALD
Versión del software Eagle I ASMJ (Windows XP/OS integrado)
Consulte el archivo de configuración a continuación para descargarlo junto con otros documentos.
Conjunto completo de esquemas disponibles bajo petición.
Proceso Óxido PE-ALD, HT-SiO/HT-SiN
Configuración de hardware (fabulosa):
Sistema principal Sistema ASM PE-ALD Mainframe 1
Sistema de manipulación FI: Kawasaki / Vac: JEL 1
Interfaz de fábrica FOUP 2
Sistema de opciones
Otros Sala de Proceso (RC3 / RC4) 2
Configuración de Hardware (subfab/unidades auxiliares):
Estante eléctrico 1
Estado de la herramienta: Desinstalada, embalada y almacenada. (marzo de 2023)

El ASM Eagle está como nuevo. Nunca se usó en producción y solo se usó para probar obleas. Una cámara tenía un problema con la válvula del acelerador y un problema con el generador de RF. Se reemplazó el RF Gen, pero no reemplazaron la válvula del acelerador, por lo que solo se usó una cámara para probar las obleas. No se utilizó el panel de gas líquido. Se incluyen 2 MFC de repuesto.

Esta máquina avanzada utiliza tecnología de deposición de capas atómicas mejorada por plasma (PEALD) para crear recubrimientos uniformes y ultrafinos en una variedad de materiales de sustrato. Es capaz de producir recubrimientos con uniformidad y reproducibilidad excepcionales, lo que lo hace ideal para una amplia gama de aplicaciones en la industria de los semiconductores.
El ASM Eagle XP5 es una herramienta versátil que se puede utilizar para depositar una amplia gama de materiales, incluidos metales, óxidos y otros compuestos. También es capaz de operar en una variedad de presiones y temperaturas de proceso, lo que lo hace adecuado para su uso en una variedad de entornos de fabricación.
Además de sus impresionantes capacidades de recubrimiento, el ASM Eagle XP5 también está construido teniendo en cuenta la durabilidad y la facilidad de mantenimiento. Tiene un diseño robusto y está respaldado por la reputación de ASM de producir equipos confiables y de alta calidad.

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