EVG 150

Description de l'offre

EVG 150 SYSTÈME DE TRAITEMENT AUTOMATISÉ DE REVÊTEMENT / DÉVELOPPEUR composé de:

- Modèle: EVG150
- Station automatisée de traitement des résistances
- 3 modules d'essorage: Bake, Chill & Vapor Prime
- Station de cassette d'envoi / réception avec supports de chargement Ergo
- Manipulation cassette à cassette
- Jusqu'à 8 "/ 200 mm de capacité de plaquette
- Système de détection de niveau de résistance et de solvant avec affichage logiciel pour le niveau de remplissage de résistance

- Station 1: Station de revêtement par rotation
• Chambre de rotation en PTFE
• Unité d'entraînement programmable jusqu'à 10 000 tr / min
• Bras de distribution programmable pour la distribution au centre, aux bords et dans la zone
• À utiliser avec 4 lignes de résistance différentes
• Réservoir de vidange avec capteur de niveau de remplissage sous le module de revêtement
• Couvercle de lavage de bol inclus
• Mandrin Spinner: demande au moment de la commande
• 2x systèmes de distribution de pompe de réserve standard pour le revêtement de distribution
• 1 pompe IDI modèle 600 haute viscosité pour revêtement par rotation
• 1x système de distribution de seringue pour revêtement par rotation
• 1x système d'enlèvement de billes de bord supérieur (EBR) pour le revêtement par rotation
• 1x rinçage arrière (BSR) pour le revêtement par rotation

- Station 2: Station de revêtement par pulvérisation
• Chambre de revêtement PTFE
• Vitesse de rotation programmable du substrat
• Unité de pulvérisation composée d'un atomiseur et d'une buse de pulvérisation pour un fonctionnement indépendant
• Lignes de solvant intégrées pour le lavage de l'unité de pulvérisation
• Réservoir de vidange avec capteur de niveau de remplissage sous le module de revêtement
• Couvercle de lavage de bol inclus
• Mandrin Spinner: demande au moment de la commande
• 1x système de distribution de seringue pour revêtement par pulvérisation
• 1x boîtier de contrôleur de débit d'échappement
• 1x système d'enlèvement de billes de bord supérieur (EBR) pour le revêtement par pulvérisation
• 1x rinçage arrière (BSR) pour le revêtement par pulvérisation
• 1 réservoir de lavage de 5 gallons
• 2x système de distribution d'apprêt liquide
• 1 réservoir sous pression pour apprêt

- Station 3: Module développeur
• Chambre de rotation en PTFE
• Unité d'entraînement programmable jusqu'à 4 000 tr / min
• 1x buse de distribution pour développement de pulvérisation, développement de flaque d'eau, ligne de jet d'eau DI
• 1x système de distribution de développement supplémentaire
• 1x buse sèche à l'azote
• 1x rinçage arrière
• 1x système d'eau Bypass DI
• Mandrin Spinner: demande au moment de la commande

- 2x modules de cuisson (jusqu'à + 150C)
- 2x modules de cuisson haute température (jusqu'à + 250 ° C)
- 1x module de cuisson à haute température (jusqu'à + 350 ° C)
- 1x module de cuisson pour amorçage à la vapeur HMDS (jusqu'à + 150 ° C)
- 2x modules de refroidissement, refroidis par CDA
-1x armoire chimique pour jusqu'à 8 produits chimiques
- Interface utilisateur basée sur Microsoft Windows
- PC système, clavier, câbles
- Manuel d'utilisation de l'EVG150
- Fabriqué en 2008
- Vendu avec une garantie de 6 mois!

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