Lam 4520

Description de l'offre

Date MFG: 1993
DÉTAILS DE L'ÉQUIPEMENT:
Actuellement configuré pour des tailles de plaquette de 200 mm

Date MFG: 1993

Modèle: 4426B

Dernier PM: 11/11/2016

Type d'installation: Thru-the-wall (TTW)

Voyant d'état

Logiciel système (App): Envision ver1.5.1

SECS I Interface Cassette Interface: (2) Indexeurs Hine 38F Mandrin électrostatique (ESC)

Détection de point final: Monochromateur 405 nm / 520 nm

Turbo: Seiko Seiki STP H200C

Type de correspondance RF: LAM intégré

Générateurs RF: Non

Générateur RF: ENI OEM-650A

Heures RF: 402056

Chariot RF à distance: Non

Module de passivation ATM: Non

Plasma LLK (PLL): Non

Collecteur à haute conductance: Non

Boîte à gaz: Boîte à gaz à distance: Non

GB soudé orbitalement: Oui

Refroidissement arrière MFC: Unité 1250A Gaz:

# 1: N2, 200 sccm, Unité 1200A # 2: CHF3, 50 sccm, Unité 1200A # 3: N2, 300 sccm, Aera # 4: N2, 500 sccm, Unité UFC 1660 # 5: CF4, 150 sccm, Unité 1200A # 6: SF6, 150 sccm, unité 1200A # 7: He, 1 slm, unité UFC 1660 # 8: O2, 200 sccm, unité UFC 1660 Pompes: Collecteurs de pompage chauffés: Non Contrôleur de pompe: Entrée / sortie série iQ: Edwards iQDP -40 Principal: Edwards iQDP-80 Refroidisseur (s): (2) SMC HRS018-WN-20-M Type de distribution CA intégré: fusionné Exigences d'alimentation: 208 VCA, triphasé, 5 fils

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