Lam Research TCP9600SE

Description de l'offre

Nous avons un graveur de métaux LAM TCP9600SE disponible pour clé en main pour inclure la remise à neuf, l'installation et la garantie.

La remise à neuf comprend une mise à niveau vers le mandrin ESC et une mise à niveau logicielle avec Envision.

Le système VDS est de type manuel (pas de type à remplissage automatique, ne peut pas être mis à niveau)

Configuration actuelle:
Corps principal configuré pour une plaquette de 6 pouces
Une chambre de traitement
Configuré pour le processus de gravure du métal
Une ELL CHAMBER
Une chambre DSQ
Une chambre APM
Système de remise automatique de cassette à cassette
Mandrin STD 150 mm
Type de mandrin: pince STD
TYPE DE CHAUFFAGE DSQ: pagaie
Système STD-EPD
SYSTÈME D'HÉLIUM STD-BACK
SYSTÈME DE COMMANDE DE CHAUFFAGE STD (12 CANAUX)
Type de système: classique
trois générateurs RF
UN TCU: MW TCU
Une fissure
Trois
Pompes sèches

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