Lam Research TCP9608SE

Description de l'offre

Graveur de métaux LAM TCP9608SE

Statut de l'outil: hors ligne, en stockage
Version SW: E1.5
Système principal
Mini environnement principal Plateforme x 1, état: OK
Unité centrale et module ACDC x 1, état: OK
Système SMIF
Indexeur Asyst 2200 intégré x 2, état: OK
Système de gestionnaire
Alignement de l'encoche de la plaquette avec la spatule x 1, état: OK
Entraînement harmonique avec gestionnaire de plaquettes x 2, état: OK
Curseur APM avec bras de navette x 1, état: OK

Chambres de traitement
Ecthing avec E-mandrin x 1, état: OK
Décapage x 1, état: OK
Rinçage / essorage à sec x 1, état: OK

Autre équipement
loadlock x 2, Statut: OK
Générateur RF 1250W x 3, état: OK
Contrôleur manuel WVDS x 1, état: OK
Équipement Sub Fab:
Boîtier AC à distance x 1, état OK

Chambre principale
Pompe turbo 1000 litres avec contrôleur x 1 set
Mandrin électronique x 1 unité
TCP RF Match x 1 unité
Biais RF Match x 1 unité
Générateur RF x 2 unités
100 sccm CL2 MFC x 1 unité
50 sccm BCL3 MFC x 1 unité
300 sccm O2 MFC x 1 unité
20 sccm N2 MFC x 1 unité
1000 sccm N2 MFC x 1 unité
100 sccm Ar MFC x 1 unité
50 sccm He UPC x 1 unité

Chambre de bande
DSQ RF Match x 1 unité
Palette chauffante x 1 unité
Générateur RF x 1 unité
Contrôleur WVDS manuel x 1 unité
2000 sccm O2 MFC x 1 unité
300 sccm N2 MFC x 1 unité
500 sccm H2O MFC avec contrôleur x 1 unité

Rinçage / séchage
Essoreuse avec mandrin à vide x 1 unité

Transport
Unité SMIF x 2 intégrée
Dispositif d'alignement des plaquettes avec spatule x 1 unité
Ensemble d'entraînement de bras harmonique avec support de plaquette x 2 unités
Ensemble de curseur APM avec bras de navette x 1 unité

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