Yield Engineering 3TA HMDS

Description de l'offre

Chambre intérieure : 12"l x 13,25"p x 12"h
(2) Contrôleurs de température PID
25-200ºC
Contrôleur logique PLD avec écran tactile
Jauge à vide numérique Granville-Phillips
Récipient HMDS à remplissage par syphon haute capacité, monté sur le côté, avec manomètre monté sur le récipient
Les verrouillages sous vide et sous pression garantissent l'intégrité du processus et le contrôle de la pression de l'azote.
Arrêt du chauffage pour protection contre la surchauffe
Azote préchauffé pour amener rapidement les plaquettes à la température de fonctionnement
Capacité multi-programmes
Matériau de la chambre : acier inoxydable 316L poli électrochimiquement
120 V, monophasé, 50/60 Hz, 14 A
En option : pompe à vide 7CFM, hydrocarbure ou fomblin

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