Suss RC8-MS3

Description de l'offre

spin coater avec système GYRSET pour une meilleure uniformité et une consommation de résine réduite
Gyrset à échange rapide
bras de distribution motorisé et programmable
plaquette de 200 mm maximum ou substrat carré de 6 "x 6"
meuble bas en acier inoxydable
Accélération maximale de 5 000 tr/min/s
bras de distribution motorisé
capacité de distribution multiple pour jusqu'à 2 photorésists
Alimentation Cybor 512 avec contrôleur 505 (contrôlera 1 à 2 pompes)
1 pompe Cybor 5126C
résister au nettoyage automatique de la buse
distribution de cartouches
Plusieurs mandrins et Gyrsets disponibles pour des substrats de différentes tailles.

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