Suss RC8-MS3 fotoresist-spincoater

Beschrijving advertentie

spincoater met GYRSET-systeem voor betere uniformiteit en lager harsverbruik
Snelle uitwisseling Gyrset
gemotoriseerde en programmeerbare doseerarm
max. 200 mm wafer of 6 "x6" vierkant substraat
roestvrijstalen onderkast
Maximale acceleratie van 5000 tpm/sec
gemotoriseerde doseerarm
meerdere doseermogelijkheden voor maximaal 2 fotoresist
Cybor 512 voeding met 505 controller (bestuurt 1-2 pompen)
1 Cybor 5126C-pomp
weerstaan ​​mondstuk autoclean
patroonafgifte
Meerdere klauwplaten en Gyrsets beschikbaar voor substraten van verschillende afmetingen.

This equipment is located in US