Suss RC8-MS3 Photoresist Spin Coater

Descrizione dell'annuncio

spin coater con sistema GYRSET per una migliore uniformità e un minor consumo di resina
Gyrset a scambio rapido
braccio erogatore motorizzato e programmabile
wafer massimo da 200 mm o substrato quadrato 6"x6".
mobile base in acciaio inossidabile
Accelerazione massima di 5000 giri/min./sec
braccio erogatore motorizzato
capacità di erogazione multipla per un massimo di 2 fotoresist
Alimentatore Cybor 512 con controller 505 (controllerà 1-2 pompe)
1 pompa Cybor 5126C
resistere alla pulizia automatica dell'ugello
erogazione della cartuccia
Mandrini multipli e Gyrset disponibili per substrati di diverse dimensioni.

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