Forno Vapor Prime 3TA HMDS da Yield Engineering

Descrição do anúncio

Câmara interna: 12"l x 13,25"p x 12"h
(2) Controladores de temperatura PID
25-200ºC
Controlador lógico PLD com tela sensível ao toque
Medidor de vácuo digital Granville-Phillips
Recipiente HMDS de enchimento de sifão de alta capacidade montado lateralmente com medidor de vácuo montado no recipiente
Intertravamentos de vácuo e pressão garantem a integridade do processo e o controle da pressão do nitrogênio
Desligamento do aquecedor de proteção contra superaquecimento
Nitrogênio pré-aquecido para levar os wafers rapidamente à temperatura operacional
Capacidade multiprograma
Material da Câmara: Aço Inoxidável 316L Polido Eletroquimicamente
120v, monofásico, 50/60hz, 14amp
Opcional: bomba de vácuo 7CFM, hidrocarboneto ou fomblin

This equipment is located in US