Descriere
Controlat de PLC și oferă o citire în timp real a parametrilor de funcționare ai sistemului, împreună cu acțiuni de remediere în cazul unei erori.
Plasmă activă pentru curățarea de rutină a suprafețelor probelor
Plasmă RIE pentru curățarea agresivă a probelor care nu sunt sensibile la ESD
Plasmă fără electroni, în aval, pentru curățarea componentelor electronice sensibile
Aparatul de curățat cu plasmă Glen R3A poate fi utilizat într-o secvență de plasmă simplă sau dublă
Sursă de alimentare cu plasmă Advanced Energy PE-1000 AC; 500w@ 40khz
Electrozi: (2) seturi de electrozi de 14 x 14 inch; capabil să găzduiască până la 8 tăvi de probe
3 moduri de plasmă:
ACTIVE PLASMA pentru curățarea de rutină a suprafețelor probelor
RIE PLASMA pentru curățarea agresivă a probelor care nu sunt sensibile la ESD
DOWNSTREAM ELECTRON-FREE PLASMA pentru curățarea componentelor electronice sensibile
Intrări de gaz: două intrări de gaz cu supape cu ac, controlate de PLC
Interfață computer: Interfață RS 232
Cerințe de alimentare: 110Volt
Curent nominal la sarcină maximă: 13 Amp
Pompa de vid nu este inclusă
Vă rugăm să rețineți că este posibil ca această descriere să fi fost tradusă automat. Contactați-ne pentru mai multe informații. Informatiile acestui anunt sunt doar orientative. Exapro recomandă să verificați detaliile cu vânzătorul înainte de o achiziție