Sondador Suss PM-5

Descripción del anuncio

Tamaño de oblea/sustrato: hasta 6”/150 de diámetro

Etapa X,Y, Theta
Planaridad superior a 6”: <10 µm
Resolución: 5 µm
Rango de movimiento: 155 x 155 mm
Carrera de carga eje Y: 90 mm
Rango de ajuste de altura Z: 10 mm
Carrera de contacto/separación Z: 3 mm
Viaje theta (estándar): 360°
Viaje theta, fino (opcional): ±10°

Arrojar
Planaridad: 3 µm
Rigidez vertical 6”: <15 µm/10 N

Platina del cabezal de sonda
Tipo de fijación: Vacío, magnético, HF
Rango de recorrido: 40 mm
Carrera de contacto/separación: 0,2 mm
Repetibilidad: 1 µm

Utilidades
Vacío: -0,8 bares
Aire comprimido: 4 bares

Dimensiones y peso
Ancho x Fondo x Alto: 490 x 490 x480mm
Peso: 60 kilogramos

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