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Tamanho do wafer/substrato: até 6”/150 de diâmetro
X, Y, Estágio Teta
Planaridade acima de 6”: <10 µm
Resolução: 5 µm
Amplitude de movimento: 155 x 155 mm
Eixo Y do curso de carga: 90 mm
Faixa de ajuste de altura Z: 10 mm
Curso de contato/separação Z: 3 mm
Curso Theta (padrão): 360°
Curso Theta, fino (opcional): ±10°
Mandril
Planaridade: 3 µm
Rigidez vertical 6”: <15 µm/10 N
Placa da cabeça da sonda
Tipo de fixação: Vácuo, magnético, HF
Faixa de deslocamento: 40 mm
Curso de contato/separação: 0,2 mm
Repetibilidade: 1 µm
Serviços de utilidade pública
Vácuo: -0,8 bar
Ar comprimido: 4bar
Dimensões e peso
Largura x Profundidade x Altura: 490 x 490 x 480 mm
Peso: 60kg
This equipment is located in US
Fabricante | Suss |
Modelo | PM-5 |
Ano | - |
País | USA |
Condição | Bom |
Categoria principal | PCB e semicondutor |
Subcategoria | Equipamento de Wafer e Semiteste |
ID | P40312049 |
Tipo de cliente | Distribuidor das máquinas |
No Kitmondo desde | 2019 |
Número de anúncios | 50 |
País | USA |
Última atividade | Março 14, 2024 |
Contato | Clique aqui |