Suss PM-5 Prober

Beschrijving advertentie

Wafer-/substraatgrootte: tot 6”/150 diameter

X,Y, Theta-podium
Planariteit over 6”: <10 µm
Resolutie: 5 µm
Bewegingsbereik: 155 x 155 mm
Belastingslag Y-as: 90 mm
Z-hoogteverstelbereik: 10 mm
Z-contact/scheidingsslag: 3 mm
Theta-verplaatsing (standaard): 360°
Theta-verplaatsing, fijn (optioneel): ±10°

Chuck
Vlakheid: 3 µm
Verticale stijfheid 6”: <15 µm/10 N

Sondekopplaat
Bevestigingstype: vacuüm, magnetisch, HF
Reisbereik: 40 mm
Contact-/scheidingsslag: 0,2 mm
Herhaalbaarheid: 1 µm

Nutsvoorzieningen
Vacuüm: -0,8 bar
Perslucht: 4 bar

Afmetingen en gewicht
Breedte x diepte x hoogte: 490 x 490 x 480 mm
Gewicht: 60 kg

This equipment is located in US