Optosystems Ardis 100

Περιγραφή καταχώρησης

Σύστημα διαμαντιών CVD ενισχυμένο με πλάσμα MW με αντιδραστήρα 2 ιντσών για εναπόθεση μεμβρανών διαμαντιών πολυ-, μονο- και νανοκρυστάλλων υψηλής καθαρότητας καθώς και νανοσωλήνων άνθρακα από μείγμα αερίων (4 κανάλια). Χρησιμοποιείται για την κατασκευή ανιχνευτών AFM με διαμάντια (βλ. scdprobes.com), δεν χρησιμοποιείται ντόπινγκ βορίου. Ισχύς: έως 6 kW στα 2,45 GHz, ροή αερίου: 0,1 έως 60 L/h, κύρια μείγματα: ?2/??4, ?2/??4/?2, Ar/H2/CH4, ντόπινγκ: N2 (κέντρα χρώματος NV). Ελεγχόμενη θερμοκρασία γκοφρέτας έως 1200 μοίρες. Ταχύτητα εναπόθεσης: έως 6 um/hr. Οπτικός έλεγχος, υδρόψυξη, αυτοματοποιημένος έλεγχος.

This equipment is located in EE