PVA Tepla MetroLine M4L Plasma Asher

Περιγραφή καταχώρησης

Παρέχονται συνταγές πολλαπλών βημάτων, γραφική απεικόνιση σε πραγματικό χρόνο, πρόσβαση με κωδικό πρόσβασης πολλαπλών επιπέδων, καταγραφή δεδομένων και παρακολούθηση SPC σε πραγματικό χρόνο όλων των παραμέτρων πλάσματος.
Θάλαμος: 9″ X 13″ X 20″ Αλουμίνιο, με θύρα KF 40 υψηλής αγωγιμότητας, βαλβίδα γκαζιού και βαλβίδα απομόνωσης.
Ηλεκτρόδια: 3-ράφι με ηλεκτρόδια εγκλωβισμένα.
Seren RF Generator: 600 watt 13,56 MHz με αέρα ψύξης με αυτόματο δίκτυο αντιστοίχισης αντίστασης.
Οθόνη: Έγχρωμη οθόνη αφής 10,4 ιντσών για έλεγχο και παρακολούθηση παραμέτρων διαδικασίας, αυτόματες συνταγές ή χειροκίνητες επεξεργασίες πλάσματος.
Δύο αέρια καθορισμένα από τον χρήστη, με MFC 500 sccm
Απαιτήσεις ισχύος: 120- 240 volt, 1ø, 50/60 Hz 30 αμπέρ μέγιστο, μεταβλητό στο πεδίο.
Πιστοποιημένο CE

ΑΣΦΑΛΕΙΑ ΚΑΙ ΠΡΟΣΤΑΣΙΑ
Ηλεκτρονικές και λογισμικές παρεμβολές
Ισχύς RF
Πίεση
Η πόρτα του θαλάμου ανοίγει/κλείνει
Απενεργοποίηση έκτακτης ανάγκης εμπρός και πίσω από το κέντρο του αντιδραστήρα και στο κιβώτιο τοίχου.
Ασφάλεια κωδικού πρόσβασης για χειροκίνητες λειτουργίες και λειτουργίες επεξεργασίας.
Ηχητικούς συναγερμούς.
Όρια συναγερμού λογισμικού σε κρίσιμες παραμέτρους διεργασίας.
Αισθητήρας συναγερμού υπερθέρμανσης (γεννήτρια).
Ενσύρματο ρελέ ραδιοσυχνοτήτων συνδεδεμένο με πόρτα θαλάμου διεργασίας.
Σύνδεση εξωτερικής κλειδώματος για επέκταση βρόχου ελέγχου 24 VAC.

ΤΟ M4L ΕΙΝΑΙ ΙΔΑΝΙΚΟ ΓΙΑ:
Τροποποίηση επιφάνειας πλάσματος
Καθαρισμός οργανικών επιφανειών με πλάσμα
Ενίσχυση της αντοχής του δεσμού
Εφαρμογές χάραξης πλάσματος
Εφαρμογές αποστράγγισης πλάσματος
Αυξημένη ή μειωμένη διαβρεξιμότητα
Οποιαδήποτε άλλη εφαρμογή συστήματος πλάσματος
Ολόκληρο το σύστημα του πάγκου χωράει σε ένα ντουλάπι, εκτός από την αντλία κενού.

This equipment is located in US