Asher de plasma PVA Tepla MetroLine M4L

Descripción del anuncio

Se proporcionan recetas de varios pasos, visualización gráfica en tiempo real, acceso con contraseña de varios niveles, registro de datos y monitoreo SPC en tiempo real de todos los parámetros del plasma.
Cámara: Aluminio de 9″ X 13″ X 20″, con puerto KF 40 de alta conductividad, válvula de mariposa y válvula de aislamiento.
Electrodos: 3 estantes con electrodos enjaulados.
Generador Seren RF: 600 vatios 13,56 MHz refrigerado por aire con red de adaptación automática de impedancia.
Pantalla: Pantalla táctil a color de 10,4 pulgadas para control y seguimiento de parámetros de proceso, recetas automáticas o tratamientos de plasma manuales.
Dos gases especificados por el usuario, con MFC de 500 sccm
Requisitos de energía: 120-240 voltios, 1ø, 50/60 Hz 30 amperios máximo, cambiable en el campo.
Certificado CE

SEGURIDAD Y PROTECCION
Enclavamientos electrónicos y de software
potencia de RF
Presión
Puerta de la cámara abierta/cerrada
APAGADO de emergencia en la parte delantera y trasera del centro del reactor y en la caja de pared.
Seguridad de contraseña para modos manual y de edición.
Alarmas sonoras.
Límites de alarma de software sobre parámetros críticos del proceso.
Sensor de alarma de sobretemperatura (generador).
Relé de RF cableado interbloqueado con la puerta de la cámara de proceso.
Conexión de enclavamiento externo para ampliar el circuito de control de 24 VCA.

EL M4L ES IDEAL PARA:
Modificación de la superficie del plasma.
Limpieza con plasma de superficies orgánicas.
Mejora de la fuerza de unión
Aplicaciones de grabado con plasma
Aplicaciones del incinerador de plasma
Aumento o disminución de la humectabilidad.
Cualquier otra aplicación del sistema de plasma.
Todo el sistema de mesa cabe en un gabinete, excepto la bomba de vacío.

This equipment is located in US