PVA Tepla MetroLine M4L Plasma Asher

Beschrijving advertentie

Er zijn meerstapsrecepten, realtime grafische weergave, wachtwoordtoegang op meerdere niveaus, datalogging en realtime SPC-monitoring van alle plasmaparameters mogelijk.
Kamer: 9″ X 13″ X 20″ aluminium, met hooggeleidende KF 40-poort, gasklep en isolatieklep.
Elektroden: 3 planken met gekooide elektroden.
Seren RF-generator: 600 watt 13,56 MHz luchtgekoeld met automatisch impedantie-matchingnetwerk.
Display: 10,4 inch kleurenaanraakscherm voor bediening en bewaking van procesparameters, automatische recepten of handmatige plasmabehandelingen.
Twee door de gebruiker gespecificeerde gassen, met 500 sccm MFC's
Stroomvereisten: 120-240 volt, 1ø, 50/60 Hz, maximaal 30 ampère, ter plaatse te wijzigen.
CE-gecertificeerd

VEILIGHEID EN BEVEILIGING
Elektronische en softwarematige vergrendelingen
RF-vermogen
Druk
Kamerdeur open/dicht
Nood-UIT voor en achter het reactorcentrum en op de muurdoos.
Wachtwoordbeveiliging voor handmatige en bewerkingsmodi.
Hoorbare alarmen.
Software-alarmlimieten voor kritische procesparameters.
Alarmsensor voor te hoge temperatuur (generator).
Vast bedraad RF-relais, vergrendeld met proceskamerdeur.
Externe vergrendelingsaansluiting om de 24 VAC-regellus uit te breiden.

DE M4L IS IDEAAL VOOR:
Modificatie van het plasmaoppervlak
Plasmareiniging van organische oppervlakken
Verbetering van de hechtsterkte
Plasma-etstoepassingen
Toepassingen met plasma-aser
Verhoogde of verlaagde bevochtigbaarheid
Elke andere plasmasysteemtoepassing
Het gehele benchtopsysteem past in één kast, behalve de vacuümpomp.

This equipment is located in US