Glen Technologies R3A

Description de l'offre

Contrôlé par PLC et offre une lecture en temps réel en anglais simple des paramètres de fonctionnement du système ainsi que des mesures correctives en cas d'abandon.
Plasma actif pour le nettoyage de routine des surfaces d'échantillons
Plasma RIE pour le nettoyage agressif des échantillons non sensibles aux ESD
Plasma sans électrons en aval pour le nettoyage des composants électroniques sensibles
Le nettoyeur plasma Glen R3A peut fonctionner dans une séquence plasma simple ou double.
Source d'alimentation plasma CA Advanced Energy PE-1000 ; 500w @ 40khz
Électrodes : (2) jeux d'électrodes de 14 x 14 pouces ; capable de contenir jusqu'à 8 plateaux d'échantillons
3 modes plasma :
PLASMA ACTIF pour le nettoyage de routine des surfaces d'échantillons
RIE PLASMA pour le nettoyage agressif des échantillons non sensibles aux ESD
PLASMA SANS ÉLECTRONS EN AVAL pour le nettoyage des composants électroniques sensibles
Entrées de gaz : entrées de gaz doubles avec vannes à pointeau, contrôlées par PLC
Interface ordinateur : interface RS 232
Exigences d'alimentation : 110 Volt
Courant nominal à pleine charge : 13 A
Pompe à vide non incluse

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