Glen Technologies R3A Plasma Asher

Beschrijving advertentie

PLC-gestuurd en biedt real-time, begrijpelijke Engelse uitlezing van de bedrijfsparameters van het systeem, samen met herstelmaatregelen in het geval van een afbreking.
Actief plasma voor routinematige reiniging van monsteroppervlakken
RIE Plasma voor agressieve reiniging van niet-ESD-gevoelige monsters
Downstream, elektronenvrij plasma voor het reinigen van gevoelige elektronische componenten
De Glen R3A Plasma Cleaner kan in een enkele of dubbele plasmasequentie worden gebruikt
Advanced Energy PE-1000 AC-plasmastroombron; 500w@40khz
Elektroden: (2) elektrodesets van 14 x 14 inch; geschikt voor maximaal 8 monstertrays
3 plasmamodi:
ACTIEF PLASMA voor routinematige reiniging van monsteroppervlakken
RIE PLASMA voor agressieve reiniging van niet-ESD-gevoelige monsters
DOWNSTREAM ELEKTRONENVRIJ PLASMA voor het reinigen van gevoelige elektronische componenten
Gasingangen: dubbele gasingangen met naaldventielen, PLC-gestuurd
Computerinterface: RS 232-interface
Stroomvereisten: 110Volt
Stroomsterkte bij volledige belasting: 13 Amp
Vacuümpomp niet inbegrepen

This equipment is located in US