Glen Technologies R3A Plasma Asher

Descrição do anúncio

Controlado por PLC e oferece leitura em inglês simples e em tempo real dos parâmetros operacionais do sistema, juntamente com ações corretivas em caso de abortamento.
Plasma Ativo para limpeza de rotina de superfícies de amostras
Plasma RIE para limpeza agressiva de amostras não sensíveis a ESD
Plasma downstream sem elétrons para limpeza de componentes eletrônicos sensíveis
O limpador de plasma Glen R3A pode ser operado em uma sequência de plasma única ou dupla
Fonte de energia de plasma AC Advanced Energy PE-1000; 500w@40khz
Eletrodos: (2) conjuntos de eletrodos de 14 x 14 polegadas; capaz de até 8 bandejas de amostra
3 modos de plasma:
PLASMA ATIVO para limpeza de rotina de superfícies de amostras
RIE PLASMA para limpeza agressiva de amostras não sensíveis a ESD
PLASMA SEM ELETRÔNICOS DOWNSTREAM para limpeza de componentes eletrônicos sensíveis
Entradas de gás: entradas duplas de gás com válvulas de agulha, controladas por PLC
Interface do computador: interface RS 232
Requisitos de energia: 110Volts
Classificação atual de carga total: 13 Amp
Bomba de vácuo não incluída

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