Glen Technologies R3A Plasma Asher

Descrizione dell'annuncio

Controllato da PLC e offre una lettura in inglese semplice in tempo reale dei parametri operativi del sistema insieme all'azione correttiva in caso di interruzione.
Plasma attivo per la pulizia ordinaria delle superfici dei campioni
Plasma RIE per la pulizia aggressiva di campioni non sensibili alle scariche elettrostatiche
Plasma a valle, privo di elettroni, per la pulizia di componenti elettronici sensibili
Il pulitore al plasma Glen R3A può essere utilizzato con una sequenza plasma singola o doppia
Fonte di alimentazione al plasma CA Advanced Energy PE-1000; 500 W a 40 kHz
Elettrodi: (2) set di elettrodi da 14 x 14 pollici; capace di contenere fino a 8 vassoi per campioni
3 modalità plasma:
PLASMA ATTIVO per la pulizia ordinaria delle superfici dei campioni
PLASMA RIE per la pulizia aggressiva di campioni non sensibili alle scariche elettrostatiche
PLASMA SENZA ELETTRONI A VALLE per la pulizia di componenti elettronici sensibili
Ingressi gas: doppi ingressi gas con valvole a spillo, controllati da PLC
Interfaccia computer: interfaccia RS 232
Requisiti di alimentazione: 110 Volt
Corrente nominale a pieno carico: 13 Amp
Pompa a vuoto non inclusa

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