Système avancé de revêtement par pulvérisation Evg 101

Description de l'offre

EVG 101 ADVANCED SPIN COATING SYSTEM composé de:

- Modèle: EVG 101
-Semi-automatique, avec chargement manuel
-Convient aux plaquettes de 3 à 8 po (avec mandrin approprié)
-Configuré actuellement pour des plaquettes de 4 "/ 100 mm
-Un module de couche
- Cadre de base pour un module de traitement de résist comprenant tous les composants électroniques, pneumatiques, tubes pour solvants, récipient de vidange ou de vidange et lignes d'échappement
-Chargement manuel et pré-aligneur mécanique (actionné pneumatiquement)
-Contrôlé par PC avec une interface utilisateur graphique basée sur Windows
-Niveaux d'accès protégés par mot de passe
-Chambre à revêtement PTFE pour revêtement par rotation
-Vitesse de rotation programmable pour le substrat
-Bras programmable pour résister à la distribution et sur le dessus EBR
- Une pompe Cybor
-Option de distribution de seringue incluse
- Mandrin rotatif pour plaquettes 4 "
-Armoire chimique externe avec deux solvants
- Chimie précédemment utilisée: 1813, 1827, acétone et IPA.
- Manuel d'exploitation et documentation inclus.

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