descrizione
Aspen II Dual ICP - Configurazione tipo AGV :
1. Piattaforma a cassetta : Rotazione della cassetta o nido di cassette in un unico pezzo.
2. Camera di raffreddamento: installata, nuovo tipo
3. Porta a fessura: nuovo tipo
4. Assetto robot: standard, nuovo tipo
5. Porta a cassetta: AGV 26".
6. Generatore RF : AE /RFPP o Adtec X 4
7. Blocco calore/raffreddamento: Riscaldatore, nuovo tipo con motivo a scanalature cicliche o piastra di raffreddamento ad acqua con refrigeratore.
8. Scatola di accoppiamento RF: Trazar AMU 10D X 4
9. Gas: 3 gas o 4 gas
10. Scatola gas: nuovo tipo
11. EMO posteriore
12. Camera di decompressione con retrotreno
13. Interfaccia operatore remoto.
14. Sensori wafer su palette installati.
15. Conformità CE
Dettagli Dimensioni del wafer: 4", 6" o 8" configurabili.
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