Descrição
Aspen II Dual ICP - Configuração do tipo AGV :
1. Plataforma de cassetes : Cassete rotativa ou ninho de cassetes de uma só peça
2. Câmara de arrefecimento: Instalada, novo tipo
3. Porta de fenda: Novo tipo
4. Conjunto do robot: Standard, novo tipo
5. Porta de cassete: AGV 26"
6. Gerador de RF: AE /RFPP ou Adtec X 4
7. Bloco de aquecimento/arrefecimento: Aquecedor, novo tipo com padrão Cicular Groove ou placa de arrefecimento a água com Chiller
8. Caixa de correspondência RF: Trazar AMU 10D X 4
9. Gás: 3 gases ou 4 gases
10. Caixa de gás: Novo tipo
11. EMO traseiro
12. Câmara de arrefecimento com Hindge
13. Interface do operador remoto.
14. Sensores de wafer na pá instalados.
15. Conformidade com CE
Detalhes Tamanho da pastilha: 4", 6" ou 8" configurável.
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