Descriere
Aspen II Dual ICP - Configurație tip AGV :
1. Platforma casetei : Rotire casetă sau standar o singură bucată casetă cuib
2. Camera de răcire : Instalată, tip nou
3. Ușă cu fantă : Tip nou
4. Robot Assy. : Standard, tip nou
5. Ușa casetei : AGV 26"
6. Generator RF : AE /RFPP sau Adtec X 4
7. Bloc de încălzire/răcire: Încălzitor , tip nou cu model Cicular Groove sau Placă de răcire cu apă cu Chiller
8. Cutie de potrivire RF: Trazar AMU 10D X 4
9. Gaz: 3 gaze sau 4 gaze
10. Cutie de gaz : Tip nou
11. EMO spate
12. Cameră de răcire cu Hindge
13. Interfață operator la distanță.
14. Senzori instalați pe plăcuță.
15. Conform CE
Detalii Dimensiune wafer: 4", 6" sau 8" configurabil.
Vă rugăm să rețineți că este posibil ca această descriere să fi fost tradusă automat. Contactați-ne pentru mai multe informații. Informatiile acestui anunt sunt doar orientative. Exapro recomandă să verificați detaliile cu vânzătorul înainte de o achiziție