Beskrivelse
Aspen II Dual ICP - AGV-type Konfiguration :
1. Kassetteplatform : Kassetterotation eller standard kassetterede i ét stykke
2. Nedkølingskammer: Installeret, ny type
3. Spaltedør: Ny type
4. Robotaggregat: Standard, ny type
5. Kassettedør: AGV 26"
6. RF-generator: AE /RFPP eller Adtec X 4
7. Varme-/køleblok: Varmeapparat, ny type med cikulært rillemønster eller vandkøleplade med køler
8. RF-tilpasningsboks: Trazar AMU 10D X 4
9. Gas: 3 gasser eller 4 gasser
10. Gasboks: Ny type
11. EMO bagpå
12. Nedkølingskammer med bagende
13. Fjernbetjeningsgrænseflade.
14. Wafer på padle-sensorer installeret.
15. CE-kompatibel
Detaljer Wafer-størrelse: 4", 6" eller 8" kan konfigureres.
Bemærk venligst, at denne beskrivelse muligvis er blevet oversat automatisk. Kontakt os for yderligere information. Oplysningerne i denne rubrikannonce er kun vejledende. Exapro anbefaler at tjekke detaljerne med sælgeren inden et køb