descrizione
Camera interna: 12 "l x 13,25 "p x 12 "h
(2) Regolatori di temperatura PID
25-200ºC
Controllore logico PLD con display touchscreen
Vacuometro digitale Granville-Phillips
Serbatoio HMDS a sifone ad alta capacità montato lateralmente con manometro per il vuoto montato sul serbatoio
Gli interblocchi del vuoto e della pressione assicurano l'integrità del processo e il controllo della pressione dell'azoto
Protezione da sovratemperatura Spegnimento del riscaldatore
Azoto preriscaldato per portare rapidamente i wafer alla temperatura operativa
Capacità multiprogramma
Materiale della camera: Acciaio inox 316L lucidato elettrochimicamente
120v, 1ph, 50/60hz, 14amp
Opzionale: pompa per vuoto 7CFM, idrocarburi o fomblin
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