Beschreibung
Innenkammer: 12 "b x 13,25 "d x 12 "h
(2) PID-Temperaturregler
25-200ºC
PLD-Logiksteuerung mit Touchscreen-Display
Digitales Granville-Phillips-Vakuum-Messgerät
Seitlich montierter HMDS-Behälter mit hohem Fassungsvermögen und auf dem Behälter montiertem Vakuummeter
Vakuum- und Druckverriegelungen gewährleisten Prozessintegrität und Stickstoffdruckkontrolle
Überhitzungsschutz Heizungsabschaltung
Vorgeheizter Stickstoff, um Wafer schnell auf Betriebstemperatur zu bringen
Multi-Programm-Fähigkeit
Material der Kammer: Elektrochemisch polierter 316L-Edelstahl
120v, 1ph, 50/60hz, 14amp
Optional: 7CFM Vakuumpumpe, Kohlenwasserstoff oder Fomblin
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