Beschreibung
Yield Engineering 3TA HMDS Vapor Prime-Ofen
Abmessungen der Innenkammer:
- Breite: 12 Zoll
- Tiefe: 13,25 Zoll
- Höhe: 12 Zoll
Temperaturregelung:
- (2) PID-Temperaturregler
- Temperaturbereich: 25-200ºC
Steuerungssystem:
- PLD-Logik-Controller mit Touchscreen-Display
Vakuum-System:
- Granville-Phillips Digitales Vakuummeter
- Seitlich montierter HMDS-Behälter mit hohem Fassungsvermögen und Vakuummessgerät auf dem Behälter
Sicherheitsmerkmale:
- Vakuum- und Druckverriegelungen zur Gewährleistung der Prozessintegrität
- Stickstoff-Druckregelung
- Übertemperaturschutz mit Heizungsabschaltung
Betriebseffizienz:
- Vorgeheizter Stickstoff, um Wafer schnell auf Betriebstemperatur zu bringen
- Multi-Programm-Fähigkeit
Material der Kammer:
- Elektrochemisch polierter 316L-Edelstahl
Elektrische Spezifikationen:
- Spannung: 120v
- Phase: 1ph
- Frequenz: 50/60hz
- Stromstärke: 14amp
Optionale Ausrüstung:
- 7CFM Vakuumpumpe (Kohlenwasserstoff oder Fomblin)
Technischer Zustand: Gut
Zustand: Sichtbar
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