apibūdinimas
"Yield Engineering 3TA HMDS Vapor Prime" krosnelė
Vidiniai kameros matmenys:
- Plotis: 12 colių
- Gylis: 13,25 colio
- Aukštis: 12 colių
Temperatūros valdymas:
- (2) PID temperatūros reguliatoriai
- Temperatūros diapazonas: 25-200ºC
Valdymo sistema:
- PLD loginis valdiklis su jutikliniu ekranu
Vakuuminė sistema:
- Granville-Phillips skaitmeninis vakuumo matuoklis
- Šone sumontuotas didelės talpos sifonu užpildomas HMDS indas su ant indo sumontuotu vakuumo matuokliu
Saugos funkcijos:
- Vakuumo ir slėgio blokatoriai, užtikrinantys proceso vientisumą
- Azoto slėgio valdymas
- Apsauga nuo perkaitimo su šildytuvo išjungimo funkcija
Veiklos efektyvumas:
- Iš anksto pašildytas azotas, kad plokštelės greitai pasiektų darbinę temperatūrą
- Daugelio programų galimybė
Kameros medžiaga:
- Elektrochemiškai poliruotas 316L nerūdijantis plienas
Elektrinės specifikacijos:
- Įtampa: 120v
- Fazė: Fazė: 1ph
- Dažnis: 50/60hz
- Srovė: 14 amperų
Papildoma įranga:
- 7CFM vakuuminis siurblys (angliavandenilio arba Fomblin)
Techninė būklė: Gera
Būklė: Matomas
Atminkite, kad šis aprašymas galėjo būti išverstas automatiškai. Norėdami gauti daugiau informacijos, susisiekite su mumis. Šio skelbimo informacija yra tik orientacinė. „Exapro“ rekomenduoja prieš perkant pasitarti su pardavėju