Descrição
Câmara interior: 12 "w x 13.25 "d x 12 "h
(2) Controladores de temperatura PID
25-200ºC
Controlador lógico PLD com ecrã tátil
Medidor de vácuo digital Granville-Phillips
Recipiente HMDS de enchimento por sifão de alta capacidade montado lateralmente com medidor de vácuo montado no recipiente
Os interbloqueios de vácuo e pressão asseguram a integridade do processo e o controlo da pressão do azoto
Proteção contra sobretemperatura Desligamento do aquecedor
Nitrogénio pré-aquecido para levar os wafers rapidamente à temperatura operacional
Capacidade para vários programas
Material da câmara: Aço inoxidável 316L polido electroquimicamente
120v, 1ph, 50/60hz, 14amp
Opcional: Bomba de vácuo de 7CFM, hidrocarboneto ou fomblin
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