Airco Temescal Hrs 2550

Περιγραφή καταχώρησης

Κατασκευαστής: Airco
AIRCO TEMESCAL HRS 2550 SPUTTERING SYSTEM
3 ΣΤΟΧΟΙ
ΑΥΤΟΜΑΤΗ/ΧΕΙΡΟΚΙΝΗΤΙΚΗ ΒΑΛΒΙΔΑ
ΜΗΧΑΝΙΚΗ ΑΝΤΛΙΑ ΑΜΕΣΗΣ ΚΙΝΗΣΗΣ
ΑΝΤΛΙΑ ΔΙΑΧΥΣΗΣ
ΜΠΟΡΕΙ ΝΑ ΑΝΑΒΑΘΜΙΣΤΕΙ ΜΕ ΠΕΡΙΣΤΡΕΦΟΜΕΝΟ ΣΤΟΙΧΕΙΟ ΓΙΑ ΝΑ ΚΡΑΤΗΣΕΤΕ (4) ΓΚΟΦΡΕΣ 8"

Το Airco Temescal HRS 2550 είναι ένα σύστημα sputtering. Διαθέτει 3 στόχους, αυτόματη/χειροκίνητη βαλβίδα, μηχανική αντλία άμεσης μετάδοσης κίνησης και αντλία διάχυσης. Διαθέτει επίσης τροφοδοτικό r/f. Μπορεί να αναβαθμιστεί σε ανακατασκευασμένη κεφαλή Cryopump CTI-10 με συμπιεστή.
Τεχνικά δεδομένα
Διαστάσεις: 16 ίντσες ύψος x 25,5 ίντσες
διάμετρος (406 mm x 647,7 mm)
Τοποθέτηση: κατακόρυφα τοποθετημένα στηρίγματα υποστρώματος καρουζέλ, προαιρετική δυνατότητα flip-flop
Χωρητικότητα: (ελάχιστη) 64 γκοφρέτες 2 ιντσών (51 mm).
Θωράκιση: ελάχιστη-3-αναπήδηση
Θερμότητα υποστρώματος: μέγιστη 3 kW
Αριθμός καθόδων: μέγιστο τρεις χειροκίνητη βαλβίδα εισόδου αργού με φυσούνα με δυνατότητα μέτρησης

Θάλαμος κενού (συμπεριλαμβανομένου του περιβλήματος ηλεκτρονικών): 82,5 ίντσες ύψος (με ντουλάπι
επάνω κονσόλα) x 64 ίντσες πλάτος x 40 ίντσες βάθος (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Τροφοδοτικό (συμπεριλαμβανομένων των κονσολών ελέγχου):
36 ίντσες ύψος x 25,5 ίντσες πλάτος x 25,5 ίντσες βάθος (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Τυπικοί ρυθμοί στατικής εναπόθεσης: 15.000
Α/λεπτό αλουμίνιο, 20.000 Α/λεπτό χαλκός
Διανομή: � 5% με κάλυψη πηγής
Μέγεθος στόχου: 8,25 ίντσες x 3,56 ίντσες (210 mm x 90 mm)
Τάση λειτουργίας: -400 έως -800 V δυναμικό καθόδου συνεχούς ρεύματος (ρυθμοί αιχμής εναπόθεσης σε
-400 έως -500 V DC)
Μέγιστη στάθμη ισχύος λειτουργίας: 5 KW. 0,2 έως 7Α
Πίεση λειτουργίας: 1 x 10-2 έως 1 x 10-3 torr
Νερό ψύξης: (0,5 gpm στους 20°C) ανά πηγή

Έξοδος: 5 kW, ρυθμιζόμενο ρεύμα από 0,2A
έως 7Α; τάση από 50V dc έως 800V dc.
εξαρτάται από την πίεση
Κύκλος λειτουργίας: 100%
Μέτρηση: ρεύμα εξόδου, 0 έως 1Α και 0 έως
10Α, κλίμακα συνεχούς ρεύματος; τάση καθόδου προς γείωση,
0 έως 1,5 kV dc; τάση ανόδου προς γείωση,
0 έως 150 V DC
Κλείδωμα: τροφοδοτικό, πόρτες καμπίνας, νερό, καπάκι θαλάμου και πίεση θαλάμου
Απαιτούμενο service: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, 3φασικό

Απόλυτο κενό: εύρος 10-8 torr
Αντλία διάχυσης: 5300 λίτρα/δευτερόλεπτο, ύψος 10 ίντσες x 16 ίντσες i.d
Μηχανική αντλία: 35 cfm (1000 λίτρα/δευτερόλεπτο, διπλής βαθμίδας
Κρυοπαγίδα: χωρητικότητα 4,5 λίτρων. Επιφάνεια 2600 τετραγωνικών ιντσών (1,67 m2).
Βαλβίδα υψηλής υποπίεσης: 16 ιντσών (406 mm) i.d., σφραγισμένη με φυσούνα
Βαλβίδα παράκαμψης υψηλού κενού: 3 ιντσών (75 mm) i.d., μεταβλητή αγωγιμότητα
Βαλβίδα λιμού και βαλβίδα αδράνειας: 2 ιντσών (51 mm) i.d
Ενεργοποίηση βαλβίδας: ηλεκτροπνευματική (όλες οι βαλβίδες κενού)
Αλληλουχία βαλβίδων: χειροκίνητη και αυτόματη

This equipment is located in US