Airco Temescal Hrs 2550

Descrição do anúncio

Fabricante: Airco
SISTEMA DE SPUTERING AIRCO TEMESCAL HRS 2550
3 ALVOS
VÁLVULA AUTOMÁTICA/MANUAL
BOMBA MECÂNICA DE ACIONAMENTO DIRETO
BOMBA DE DIFUSÃO
PODE SER ATUALIZADO COM ACESSÓRIO GIRATÓRIO PARA RETER (4) WAFERS DE 8"

O Airco Temescal HRS 2550 é um sistema de pulverização catódica. Possui 3 alvos, válvula automática/manual, bomba mecânica de acionamento direto e bomba de difusão. Também tem uma fonte de alimentação r/f. Pode atualizar para cabeça reconstruída CTI-10 Cryopump com compressor.
Dados técnicos
Dimensões: 16 polegadas de altura x 25,5 polegadas
diâmetro (406 mm x 647,7 mm)
Fixação: suportes de substrato montados verticalmente em carrossel, capacidade opcional de flip-flop
Capacidade: (mínimo) 64 wafers de 2 polegadas (51 mm)
Blindagem: mínimo de 3 ressaltos
Calor do substrato: máximo 3 kW
Número de cátodos: máximo de três válvulas manuais seladas com fole de entrada de argônio com capacidade de medição

Cubículo de vácuo (incluindo gabinete eletrônico): 82,5 polegadas de altura (com gabinete
console superior) x 64 polegadas de largura x 40 polegadas de profundidade (2100 mm x 1625 mm x 1025 mm)
Fonte de alimentação (incluindo consoles de controle):
36 polegadas de altura x 25,5 polegadas de largura x 25,5 polegadas de profundidade (915 mm m x 650 mm x 650 mm)
Taxas típicas de deposição estática: 15.000
A/minuto de alumínio, 20.000 A/minuto de cobre
Distribuição: � 5% com mascaramento de origem
Tamanho do alvo: 8,25 polegadas x 3,56 polegadas (210 mm x 90 mm)
Tensão de operação: -400 a -800V dc potencial catódico (taxas de deposição de pico em
-400 a -500V CC)
Nível máximo de potência operacional: 5 KW. 0,2 a 7A
Pressão de operação: 1 x 10-2 a 1 x 10-3 torr
Água de resfriamento: (0,5 gpm a 20°C) por fonte

Saída: 5 kW, ajustável em corrente de 0,2A
para 7A; tensão de 50V dc a 800V dc;
dependente da pressão
Ciclo de trabalho: 100%
Medição: corrente de saída, 0 a 1A e 0 a
10A, escala CC; tensão cátodo-terra,
0 a 1,5 kV CC; tensão anodo-terra,
0 a 150 Vcc
Intertravamentos: fonte de alimentação, portas do cubículo, água, tampa da câmara e pressão da câmara
Serviço necessário: 208/230V ac, 25A, 50/60 Hz, trifásico

Vácuo final: faixa de 10-8 torr
Bomba de difusão: 5300 litros/segundo, 10 polegadas de altura x 16 polegadas de diâmetro interno
Bomba mecânica: 35 cfm (1000 litros/segundo, estágio duplo
Armadilha fria: capacidade de 4,5 litros; Área de superfície de 2600 polegadas quadradas (1,67 m2)
Válvula de alto vácuo: 16 polegadas (406 mm) de diâmetro interno, vedada por fole
Válvula de desvio de alto vácuo: 3 polegadas (75 mm) de diâmetro interno, condutância variável
Válvula de fome e válvula de desbaste: 2 polegadas (51 mm) i.d
Atuação da válvula: eletropneumática (todas as válvulas de vácuo)
Sequenciamento de válvulas: manual e automático

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