Arriba Elipsómetro GXR

Descripción del anuncio

ELIPSÓMETRO SOPRA

FABRICANTE: SOPRA

MODELO :GXR

Descripción:

SOPRA ha desarrollado un nuevo enfoque mediante la combinación de dos técnicas de caracterización no destructivas en el mismo instrumento: elipsometría espectroscópica (SE) y reflectometría de rayos X rasante (GXR). GXR es una técnica poderosa para medir el espesor absoluto sin un modelado estructural a priori de una pila multicapa. GXR se aplica a cualquier tipo de material: semiconductor, metálico, dieléctrico, orgánico. La medición de GXR y SE se puede realizar casi simultáneamente en exactamente la misma ubicación de la muestra. El análisis de datos complementarios de ambas técnicas con el mismo modelo físico conduce a una precisión sin precedentes en los resultados de medición. La reflectometría de rayos X rasante (GXR) es sin duda la técnica preferida para la medición del espesor absoluto de nuevos materiales. A esta energía, todos los materiales muestran los mismos índices de refracción (siendo n 1 y k siendo 0), lo que simplifica considerablemente el modelo estructural para el análisis de datos. En el caso de capas múltiples complejas, se puede obtener información precisa sobre la periodicidad de las pilas, así como sobre las estructuras de las capas intermedias. El GXR combinado SE es la opción ganadora para las siguientes aplicaciones: Dieléctricos de alto K (ZrO2, óxidos nitrurados), ONO delgado capas, recubrimientos ópticos delgados, estructuras epitaxiales delgadas de Si y SiGe, capas delgadas metálicas y orgánicas, recubrimientos para microlitografía.

Vendo "TAL CUAL, DONDE ESTÁ".

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