Sopra GXR

Description de l'offre

ÉLIPSOMÈTRE SOPRA

FABRICANT : SOPRA

MODÈLE :GXR

La description:

SOPRA a développé une nouvelle approche en combinant deux techniques de caractérisation non destructives sur le même instrument : l'ellipsométrie spectroscopique (SE) et la réflectométrie des rayons X rasants (GXR). GXR est une technique puissante pour mesurer l'épaisseur absolue sans modélisation structurelle a priori d'un empilement multicouche. GXR s'applique à tout type de matériau : semi-conducteur, métallique, diélectrique, organique. Les mesures GXR et SE peuvent être effectuées quasi-simultanément exactement au même emplacement d'échantillon. L'analyse des données complémentaires des deux techniques avec le même modèle physique conduit à une précision sans précédent des résultats de mesure. La réflectométrie rasante des rayons X (GXR) est certainement la technique de choix pour la mesure absolue de l'épaisseur des nouveaux matériaux. A cette énergie, chaque matériau affiche les mêmes indices de réfraction (n étant 1 et k étant 0), simplifiant considérablement le modèle structurel pour l'analyse des données. En cas de multicouches complexes, des informations précises peuvent être obtenues sur la périodicité des empilements ainsi que sur les structures intercouches.SE combiné GXR est le choix gagnant pour les applications suivantes : diélectriques à K élevé (ZrO2, oxydes nitrurés), Thin ONO couches minces optiques, structures épitaxiales minces Si et SiGe, couches minces métalliques et organiques, revêtements pour la micro-lithographie.

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