Acima do elipsômetro GXR

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ELIPSÔMETRO SOPRA

FABRICANTE: SOPRA

MODELO: GXR

Descrição:

A SOPRA desenvolveu uma nova abordagem combinando duas técnicas de caracterização não destrutiva no mesmo instrumento: Elipsometria Espectroscópica (SE) e Reflectometria de Raios-X Grazing (GXR). GXR é uma técnica poderosa para medir a espessura absoluta sem uma modelagem estrutural a priori de uma pilha multicamada. GXR se aplica a qualquer tipo de material: semicondutor, metálico, dielétrico, orgânico. A medição GXR e SE pode ser realizada quase simultaneamente exatamente no mesmo local da amostra. A análise de dados complementares de ambas as técnicas com o mesmo modelo físico leva a uma precisão sem precedentes nos resultados de medição. Grazing X-Ray Reflectometry (GXR) é certamente a técnica de escolha para medição de espessura absoluta de novos materiais. Nesta energia, todos os materiais apresentam os mesmos índices de refração (n sendo 1 e k sendo 0), simplificando consideravelmente o modelo estrutural para análise dos dados. No caso de multicamadas complexas, informações precisas podem ser obtidas sobre a periodicidade das pilhas, bem como sobre as estruturas entre camadas. O GXR combinado SE é a escolha vencedora para as seguintes aplicações: Dielétricos de alto K (ZrO2, óxidos nitretados), ONO fino camadas, revestimentos ópticos finos, estruturas epitaxiais finas de Si e SiGe, camadas metálicas e orgânicas finas, revestimentos para microlitografia.

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