Boven Ellipsometer GXR

Beschrijving advertentie

SOPRA ELIPSOMETER

FABRIKANT: SOPRA

MODEL :GXR

Beschrijving:

SOPRA heeft een nieuwe benadering ontwikkeld door twee niet-destructieve karakteriseringstechnieken op hetzelfde instrument te combineren: spectroscopische ellipsometrie (SE) en grazing röntgenreflectometrie (GXR). GXR is een krachtige techniek om de absolute dikte te meten zonder a-priori structurele modellering van een meerlaagse stapel. GXR is van toepassing op elk type materiaal: halfgeleider, metaal, diëlektrisch, organisch. GXR- en SE-metingen kunnen quasi-simultaan op exact dezelfde monsterlocatie worden uitgevoerd. Analyse van complementaire gegevens van beide technieken met hetzelfde fysieke model leidt tot ongekende nauwkeurigheid in meetresultaten. Grazing X-Ray Reflectometrie (GXR) is zeker de techniek bij uitstek voor absolute diktemeting van nieuwe materialen. Bij deze energie vertoont elk materiaal dezelfde brekingsindices (n is 1 en k is 0), wat het structurele model voor gegevensanalyse aanzienlijk vereenvoudigt. In het geval van complexe meerlagen kan nauwkeurige informatie worden verkregen over de periodiciteit van stapels en over de tussenlaagstructuren. SE gecombineerde GXR is de winnende keuze voor de volgende toepassingen: Hoge K diëlektrica (ZrO2, nitrided oxides), Thin ONO lagen, dunne optische coatings, Si en SiGe dunne epitaxiale structuren, dunne metalen en organische lagen, coatings voor microlithografie.

Verkoop "AS IS, WHERE IS."

This equipment is located in US