Sopra Ellipsometer GXR

Descrizione dell'annuncio

SOPRA ELIPSOMETRO

PRODUTTORE: SOPRA

MODELLO: GXR

Descrizione:

SOPRA ha sviluppato un nuovo approccio combinando due tecniche di caratterizzazione non distruttiva sullo stesso strumento: l'ellissometria spettroscopica (SE) e la riflettometria a raggi X radente (GXR). GXR è una tecnica potente per misurare lo spessore assoluto senza una modellazione strutturale a priori di una pila multistrato. GXR si applica a qualsiasi tipo di materiale: semiconduttore, metallico, dielettrico, organico. Le misurazioni GXR e SE possono essere eseguite quasi simultaneamente esattamente nella stessa posizione del campione. L'analisi dei dati complementari di entrambe le tecniche con lo stesso modello fisico porta a un'accuratezza senza precedenti nei risultati delle misurazioni. La riflettometria a raggi X radente (GXR) è sicuramente la tecnica preferita per la misurazione dello spessore assoluto di nuovi materiali. A questa energia, ogni materiale mostra gli stessi indici di rifrazione (n essendo 1 e k essendo 0), semplificando notevolmente il modello strutturale per l'analisi dei dati. In caso di multistrati complessi, è possibile ottenere informazioni accurate sulla periodicità delle pile così come sulle strutture interstrato.SE combinato GXR è la scelta vincente per le seguenti applicazioni: dielettrici ad alto K (ZrO2, ossidi di nitrurazione), ONO sottile strati, rivestimenti ottici sottili, strutture epitassiali sottili Si e SiGe, strati sottili metallici e organici, rivestimenti per microlitografia.

Vendo "COSÌ COM'È, DOVE È".

This equipment is located in US