Calentador de plasma 600-AL

Descripción del anuncio

Modelo: 600 Semiautomático
- Sistema de plasma RF semiautomático
- Puede procesar obleas de hasta 200 mm
- Se utiliza para retirar fotoprotectores y limpiar superficies, así como para grabar silicio y sus compuestos.
- Tamaño de la cámara: 245 mm de diámetro, 380 mm de profundidad
- Material de la cámara: cerámica
- Generador ENI RF: 0-600 vatios, 13,56 MHz
- Gases: 4 canales controlados por 4 MFC
- Bomba de vacío Leybold D65B
- Dimensiones: 740mm x 624mm x 701mm + conexiones
- Eléctrico: 230V, 50/60Hz, 15A, 2kW
- 1731 horas

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