Scalda il posacenere al plasma 600-AL

Descrizione dell'annuncio

Modello: 600 SemiAuto
- Sistema al plasma RF semiautomatico
- Può elaborare wafer fino a 200 mm
- Utilizzato per la rimozione del fotoresist e la pulizia delle superfici, nonché per l'incisione del silicio e dei suoi composti
- Dimensioni della camera: diametro 245 mm, profondità 380 mm
- Materiale della camera: ceramica
- Generatore RF ENI: 0-600 Watt, 13,56 MHz
- Gas: 4 canali controllati da 4 MFC
- Pompa per vuoto Leybold D65B
- Dimensioni: 740mm x 624mm x 701mm + connessioni
- Elettrico: 230V, 50/60Hz, 15A, 2kW
- 1731 ore

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