Verhit 600-AL Plasma Asher

Beschrijving advertentie

Model: 600 SemiAuto
- Semi-automatisch RF-plasmasysteem
- Kan wafers tot 200 mm verwerken
- Gebruikt voor het strippen van fotoresist en oppervlaktereiniging, evenals voor het etsen van silicium en zijn verbindingen
- Kamergrootte: 245 mm diameter, 380 mm diepte
- Kamermateriaal: keramiek
- ENI RF-generator: 0-600 Watt, 13,56 MHz
- Gassen: 4 kanalen bestuurd door 4 MFC's
-Leybold D65B Vacuümpomp
- Afmetingen: 740 mm x 624 mm x 701 mm + aansluitingen
- Elektrisch: 230V, 50/60Hz, 15A, 2kW
- 1731 uur

This equipment is located in US