Calor 600-AL Plasma Asher

Descrição do anúncio

Modelo: 600 SemiAuto
- Sistema de plasma RF semiautomático
- Pode processar wafers de até 200 mm
- Usado para decapagem fotorresistente e limpeza de superfícies, bem como gravação de silício e seus compostos
Tamanho da câmara: 245 mm de diâmetro, 380 mm de profundidade
- Material da Câmara: cerâmica
Gerador ENI RF: 0 600 Watt, 13,56 MHz
- Gases: 4 canais controlados por 4 MFCs
- Bomba de vácuo Leybold D65B
Dimensões: 740 mm x 624 mm x 701 mm + conexões
Elétrica: 230 V, 50/60 Hz, 15 A, 2 kW
- 1731 horas

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