EVG GEMINIS

Descripción del anuncio

Descripción del producto

Adherente de obleas de producción automatizada EVG Gemini con alineación cara a cara

Operación completamente automatizada
Puertas enclavadas con torre de luz de señal
Robot industrial de 4 ejes
EVG CIM Framework Software GUI (interfaz gráfica de usuario)
Definición de flujo de proceso flexible
Programación de recetas de arrastrar y soltar
Procesamiento paralelo de múltiples trabajos
Registro automatizado de parámetros de procesos y máquinas
Secuencia de manipulación optimizada para el rendimiento
Niveles de acceso de usuario protegidos por contraseña
Carga de casete abierto con sensor de vacío/presente
Actualmente configurado para obleas de 6″ (150 mm) (4″ y 8″ opcionales con hardware adicional)
Se incluyen 8 mandriles de unión para obleas de 6″, se pueden ofrecer mandriles adicionales
Módulo de alineación SmartView®NT con objetivos 5x
4 módulos de unión con hasta 550 °C y fuerza de unión de 10 kN
Opción de burbujeador de ácido fórmico para purgar el vapor de ácido fórmico en la cámara de unión
1 línea de gas de purga para gas de proceso
Certificado CE, toda la documentación del sistema

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